近年来，半导体技术的迅猛发展是全球科技领域的热点之一。随着半导体技术的不断革新和应用深入，失效分析日益成为制约产业进一步发展的关键因素。为了能更好的助力半导体企业提高良率，先进的ESD测试方案，完备的EFA分析技术以及电子显微镜检测分析成为半导体工业领域重要手段。

作为赋能科技进步的全球领导者，赛默飞世尔科技携手DT新材料，于2023年6月16日（周五）成功举办一场微电子学院专属定制“半导体产业失效分析解决方案线上论坛”。我们邀请到3位赛默飞资深应用专家，分享他们在ESD测试，物性失效分析和电性失效分析领域的前沿研究成果。本次论坛免费向微电子行业科研与产业界开放，共同打造产学研交流合作平台，欢迎广大微电子人分享与转发哦！

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(资料图)

半导体失效分析产业最新进展

为微电子人专属定制！

报告人：Tom Meuse 资深应用工程师

在ESD规范测试领域有超过40年的经验，是赛默飞ESD测试技术以及相关产品的顶级专家。同时也是ESDA 和JEDEC成员，在其中负责系统级ESD测试，器件级ESD测试以及可靠性测试相关标准的开发。并在ESD测试以及ESD系统设计方面发表了大量论文。

报告主题：芯片静电放电合规测试解决方案及行业动向

内容摘要：主要介绍半导体静电放电合规测试的原理及相关行业标准，高端应用解决方案，以及行业测试标准或测试方法的发张方向。如何提高芯片静电放电合规测试的效率及精确度，如何缩短静电保护电路的从设计到合规的周期，如何紧跟行业步伐应对技术更新带来的静电合规测试的最新挑战，我们为您介绍最优解决方案。

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报告人：曹君正 博士 资深应用经理

马里兰大学帕克分校物理化学博士学位，之后加入Scribe并且引领了太阳能电池板的激光加工以及光学计量的发展。1998年，作为技术专家进入微电子领域，负责LVP，FIB，以及OFI测试系统的研发。目前任职赛默飞并领导EFA部门全球应用团队。

报告主题：电性失效分析技术概览

内容摘要：EFA技术可以采用不同的原理（光学，带电粒子，热，接触式探针…），在不同的层级（晶圆，晶粒，晶体管…）来实现。通常需要多种技术的合作使用来解决复杂的案例。本次报告概览当前常用的EFA技术手段。

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报告人：韩伟 博士，高级业务拓展经理

1998年硕士毕业于北京工业大学材料学院，于2010年加入FEI公司任资深应用专家，并在2016年合并进入赛默飞，现为材料科学高级业务拓展经理，主要工作包括推广电子显微镜技术，具有20多年利用前沿电子显微镜技术实现材料微观表征的经验。

报告主题：赛默飞电子显微镜在半导体样品微观分析中的解决方案

内容摘要：当下微电子工业和科研正在蓬勃发展，电子显微镜成了不可或缺的重要工具。利用扫描电镜可进行高分辨表面的表征与分析，精确聚焦的电子束可以直接在光刻胶上“刻写”微纳结构图形。利用聚焦离子束-“纳米尺度的手术刀”，可抽丝剥茧直抵问题的根源。本次报告将展示赛默飞在微电子多个应用方向的案例及解决方案，内容涉及扫描电镜、透射电镜、XPS、聚焦离子束及飞秒激光的技术及失效分中的应用。

参与福利

本次直播还将有2轮抽奖互动，敬请锁定直播间！

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